又是一天的忙碌，吕辰正要下班，电话铃声吵醒了。
“小吕，我是陈光远。”陈光远的声音带着兴奋，“新产线明天进行联调前的验收，你早点过来。”
“几点？”
“八点，厂办集合。星河计划各组的专家都会来，你负责产品中心的测试区域。”
“行，我准时到。”
第二天一早，吕辰从厨房拿了两个馒头，推着自行车就出了门。
七点刚过，就到了6305厂。
厂门口已经停了好几辆车，有吉普，有伏尔加，还有一辆军用卡车。
卫兵比平时多了两倍，荷枪实弹，表情严肃。
吕辰掏出工作证，卫兵仔细核对了两遍，又翻了翻登记簿，才挥手放行。
他把车停在厂办楼下，正往里走，身后传来一个声音。
“小吕！”
回过头，陈光远从一辆黑色伏尔加里钻出来，身后跟着四五个人，都是生面孔，但个个气度不凡。
“陈厂长。”吕辰迎上去。
陈光远拍了拍他的肩膀，脸上带着笑，但眼神很严肃。
“走，先开个短会，然后去现场。”
一行人上了楼，来到二楼的会议室。
会议室里已经坐了十几个人，长条桌坐得满满当当。
宋颜、谢凯、王守仁、顾赟、文昭南都在，还有清华的柳教授、北大有胡思明，以及好几个叫不上名字但面熟的人，都是星河计划各组的专家。
每个人面前都摊着一个笔记本，搪瓷缸子里泡着茶，茶叶梗浮在水面上，散发着茉莉花香。
陈光远在主位坐下，清了清嗓子。
“各位，今天把大家请来，是给新产线把把关。”
他环顾了一圈，目光从每个人脸上扫过。
“新产线从去年立项，到现在一年多。
厂房是梁先生设计的，我们按图纸一砖一瓦建起来。设备也从全国各地调拨就位，今天，是骡子是马，拉出来遛遛。
他顿了顿：“但我要先说一句。今天的验收，不是走过场，不是搞形式。谁发现问题，当场提，当场记。能整改的立即整改，不能整改的限期整改。谁要是发现了问题不说，或者说了不记，那就是对星河计划不负责，对国家不负责。”
会议室里安静了一瞬。
王守仁开口表态：“陈厂长，你放心，我们这帮老家伙，眼睛里揉不得沙子。该看的看，该查的查，该说的说。”
其他人也点头认可。
陈光远点点头，翻开面前的文件。
“那我先说一下验收分组。”
他念了一长串名单，动力与保障中心、产品中心、制造中心，每个区域都有专人负责。
吕辰听到自己的名字，产品中心，测试区域：“测试区域由顾赟同志负责，吕辰同志配合。”
测试区域的扫描电镜、电子显微镜等设备，都是顾赟主持安装调试的。
吕辰点头：“明白。”
“还有问题吗？”陈光远看了看表，“现在是七点四十，八点整，各组到各自区域集合。中午十二点，回这里碰头，汇总情况。”
众人纷纷起身，收拾东西往外走。
吕辰和顾赟一起走出会议室：“吕工，走吧，先去测试区。”
两人下了楼，推着自行车往新产线方向走。
新产线的整体布局，像一个“|彡|”形，简洁，有力，充满工业美学的秩序感。
两条竖线，是动力与保障中心和产品中心，灰白色的外墙，方方正正的窗户，整整齐齐排列着，像两个沉默的巨人。
中间那三撇，是三个长达200米的制造中心，外观全是到顶的竖窗，从屋顶一直延伸到地面，像巨大的雨幕。
阳光从东边照过来，打在那些竖窗上，反射出耀眼的光芒。
吕辰停下车，站在那里看了好几秒。
“震撼吧？”顾赟也停下来，站在他旁边，“我第一次来的时候，也看呆了。梁先生的设计，不光是实用，还有一种......怎么说呢......”
“庄严。”吕辰接过话。
“对，庄严。”顾赟点点头，“这是一座殿堂，芯片的殿堂。”
两人推着车继续往前走，在产品中心门口停下来。
门口已经站了几个人，都是验收组的专家，正聚在一起小声讨论着什么。
顾赟掏出钥匙，打开了一扇小门。
“测试区在产品中心的三楼，走，上去看看。”
三人沿着楼梯往上走，楼道里很安静，只有脚步声在回荡。
每层楼的楼道口都有一道铁门，门上贴着“非请勿入”的牌子，还贴着保密须知。
顾赟掏出钥匙，一道一道地开门，动作熟练而迅速。
到了三楼，她推开最后一道门，侧身让吕辰进去。
“到了。”
吕辰走进去，愣了一下。
测试区是一个巨大的空间，面积足有上千平方米。
地面是淡绿色的环氧自流平，光滑如镜，能照出人影。
天花板是铝合金吊顶，嵌着一排排日光灯，把整个空间照得亮如白昼。
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靠墙是一排排实验台，台上摆着各种仪器设备，示波器、信号源、频谱仪、万用表，整整齐齐，像士兵列队。
最里面是一面巨大的玻璃隔断，隔断后面是洁净区，穿着白色洁净服的人影在里面走动，动作缓慢而谨慎，像在水里行走。
最近的一张实验台上，放着一线军绿色的扫描电镜。
铭牌上刻着“中国科学院北京真空电子技术研究所研制”几行字。
和之前交付的那一台相比，精致了不少，敦实中多了些精密工业之美。
吕辰凑近仔细看了看，仪器的面板上的旋钮和开关布局更加简洁合理，每一个都标着功能，字迹工整。
顾赟声音里带着一丝无奈：“各方面都优化了一下，更易于操作，也更稳定了，但分辨率还是300埃，想突破到100埃，得等下一台了。”
吕辰拿起旁边的操作规程，翻了翻，每一步操作都写得清清楚楚、
“谁写的？”
“我写的。”顾赟说着开机演示。
吕辰对照着步骤过了一遍，确认没问题。
吕辰点点头，拿出本子记录下来。
“带我去看看其他设备。”
顾赟领着他，一台一台地看。
电子显微镜、X射线衍射仪、红外光谱仪、椭圆偏振仪、探针式轮廓仪、四探针电阻率测试仪……
每一台设备都贴着标签，标着名称、型号、生产厂家、安装日期、责任人。
清一色都是国产，清一色都是国防绿涂装，外壳粗糙，旋钮松垮，但运转起来很稳。
有些设备还是比不得进口的，不过只专注核心功能，基本上也能达到要求。
顾赟对每一台设备都如数家珍，参数、性能、使用方法、注意事项，张口就来，没有半点犹豫。
走到一台大设备前面时，二人停了下来。
那是一台一人多高的仪器，也是军绿色的外壳，正面嵌着一块显示屏，显示着一行一行的绿色字符。
旁边有一个操作台，台上放着键盘和轨迹球，球面已经磨得光滑。
这台电子束曝光机，是长光所的又一利器，用来制造光刻掩模版，精度0.5微米。
吕辰走过去，仔细看了看。
仪器的面板上，贴着一张手写的“使用记录表”，上面密密麻麻记着日期、使用者、使用时长、设备状态。
最后一栏是“设备状态”，每一行都写着“正常”，字迹工整，签名清晰。
“谁负责这台设备？”吕辰问。
“戚工。”顾赟喊了一声。
一名穿着洁净服的中年人走了过来，手里拿着一个文件夹。
他从文件夹里抽出一张表格，递给吕辰。
“这台设备娇贵得很，对环境要求特别高。温度波动超过0.5度，它就不稳定；振动稍微大一点，曝光就偏了。我每天早晚各检查一次，记录温湿度和设备参数。”
吕辰接过，是一张设备日常点检表，上面列了几十项检查内容，每一项后面都写着检查结果和检查人签名。
从表格上的记录看，从设备安装到现在，没有一天漏检。
吕辰把表格还给他，又问：“操作人员培训了吗？”
“培训了。”戚工翻开文件夹，“这是培训记录。我们一共培训了12个人，每个人都要通过理论和实操考核才能上岗。考核不过的，继续培训，直到过关为止。”
他把文件夹递过来，吕辰翻了翻。
每一页都贴着考核试卷和实操评分表，红笔批改，分数清清楚楚。
12个人里，有3个人第一次考核没通过，补考后才过关。
补考的那几页，试卷上密密麻麻写满了批注，错在哪儿、为什么错、怎么改，写得明明白白。
吕辰把文件夹合上，还给戚工。
“设备、人员、制度，都没问题。但有一个地方，我想再看看。”
“哪里？”
“洁净区的颗粒物检测记录。”
顾赟点点头：“跟我来。”
他领着吕辰走到洁净区的入口，从墙上取下一本厚厚的记录本，递给他。
“这是洁净区的颗粒物检测记录，每天检测三次，早中晚各一次。检测点位覆盖整个洁净区，每个点位的数据都有记录。”
吕辰翻开记录本，一页一页地看。
数据记录得很详细，日期、时间、检测点位、颗粒物浓度（≥0.5微米、≥5微米）、检测人、复核人，每一项都填得工工整整。
从记录上看，洁净区的颗粒物浓度一直稳定在Class 96的标准以内，有些点位甚至达到了Class 10的水平。
吕辰翻到最后一页，是上个月的汇总表。
表格里统计了所有检测点位的平均值、最大值、最小值，还画了一张趋势图，颗粒物浓度的变化曲线平稳，没有异常波动。
“这个汇总表是谁做的？”吕辰问。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
小主，这个章节后面还有哦，请点击下一页继续阅读，后面更精彩！
他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
这章没有结束，请点击下一页继续阅读！
吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
小主，这个章节后面还有哦，请点击下一页继续阅读，后面更精彩！
他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
小主，这个章节后面还有哦，请点击下一页继续阅读，后面更精彩！
他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
这章没有结束，请点击下一页继续阅读！
吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
这章没有结束，请点击下一页继续阅读！
吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
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吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
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最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
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三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
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“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
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陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
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每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
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炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
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这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
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一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
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再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
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吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
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吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
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最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
小主，这个章节后面还有哦，请点击下一页继续阅读，后面更精彩！
他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
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吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。
“当前是我做。”顾赟说，“产线交付以后就是戚工来负责，每个月汇总一次，分析数据趋势，发现问题及时处理。上个月有个点位的颗粒物浓度偏高，我们查了两天，发现是一个高效过滤器的密封条老化了，换掉之后就正常了。”
小主，这个章节后面还有哦，请点击下一页继续阅读，后面更精彩！
他翻开记录本中间的一页，指着一行数据。
“你看，就是这个点位。4月12日到4月15日，数据连续偏高。4月16日更换密封条之后，数据就降下来了。”
吕辰仔细看了看，前后的数据对比确实明显。
他把记录本合上，放回墙上。
“顾工，你这个记录做得很好。设备、人员、制度、记录，四样齐全，测试区没有问题。”
顾赟笑了笑：“那就好，我还担心你们会挑出什么毛病呢。”
“毛病肯定有，但都是小问题，不影响大局。”吕辰说，“等验收结束，再慢慢优化。”
两人又看了几台设备，确认没有问题，才出了测试区。
下楼的时候，吕辰问了一句：“顾工，你怎么参与起6305厂的建设来了？”
顾赟说：“嘿，别提了，也是抓壮丁，送扫描电镜过来，安装调试了两个星期，调着调着，就成了测试区的负责人了。”
吕辰又问：“电镜现在怎么样了。”
顾赟道：“放了一段时间，研究昆仑的显示器了。”
他顿了顿，低声道：“现在，所里条件虽然还是差，但星河计划军管后，人心算是稳了下来，柳教授回来了，电镜、显示器、光阴极管三个项目，一起推进。”
“光阴极管？夜视仪？”
顾赟点点头：“对，刘星海教授牵的线，专供国防。”
他的声音里有一种说不清的感慨：“星河计划好啊，文教授带着我们，硬是把扫描电镜搞出来了。”
吕辰点点头，没说话。
两人出了产品中心，往制造中心走。
三个制造中心并排而立，每个都有两百米长，外观一模一样，像三个巨大的孪生兄弟。
目前只有中间的那个制造中心布置了生产线，左右两个还空着，只安装了管廊和基础设备，随时可以扩展。
走进中间的制造中心，一股凉气扑面而来。
吕辰和顾赟换了洁净服，经过喷淋通道，进入洁净区。
车间里的温度恒定在22度，湿度45%，空气经过高效过滤器过滤，干净得像不存在一样。
地面是防静电的淡绿色环氧自流平，走上去有一种微微的涩感，但很稳。
天花板上的日光灯排成整齐的矩阵，把整个车间照得通明。
车间里，生产线按照芯片制造的流程依次排开。
最前面是光刻区，GCA-301CGS光刻机静静地蹲在那里，军绿色的外壳，方方正正，像一个沉默的巨人。
机器旁边围着几个人，刘高工站在最前面，手里拿着一支手电筒，正弯腰往机器内部照。
郑长枫蹲在机器侧面，手里拿着一把游标卡尺，在量着什么。
吕辰走过去，站在旁边看。
刘高工直起腰，把手电筒关了，转过身看着众人。
“分辨率2微米，套刻精度±0.5微米。光电检测自动对准、脉冲电机自动步进、二维卡存储参数、自动加载工艺配方。操作人员要重新培训，不能用老习惯开新机器。”
陈光远在旁边点头：“刘高工放心，操作人员已经培训了两轮，下周还要再培训一轮。”
刘高工没说话，继续弯腰检查。
郑长枫站起来，把手里的游标卡尺收进皮套里。
“工件台我看过了，步进精度0.1微米，跟实验室数据一致。但长期稳定性还要再跑一跑，建议连续运行72小时，看看精度有没有漂移。”
陈光远在本子上记了一笔：“好，验收结束后就安排。”
吕辰沿着生产线往前走。
光刻区后面是薄膜区，化学气相沉积设备、溅射台、蒸镀机，一字排开。
每台设备旁边都贴着一张操作规程，字迹工整，步骤清晰。
设备上还贴着“运行中”或“待机”的标签，状态一目了然。
再往后是扩散/离子注入区，高温扩散炉、离子注入机，管道密密麻麻，像一座微缩的化工厂。
炉子里的温度高达上千度，但炉体外壳摸上去只是温热，保温做得很好。
离子注入机的真空泵在嗡嗡地响，声音低沉而稳定。
金属化车间里，胡教授正在检查溅射台和蒸镀机，银白色的金属薄膜在一块测试晶圆上均匀沉积，反射着灯光，像一面面微小的镜子。
封装区域在生产线的最末端，划片机、键合机、封装机，一台挨着一台。
键合机还是老款式，摆了几十台，这只能用人来堆。
哈工大的周工正在一台一台检查。
吕辰凑上去：“周工，怎么样？”
周工摇摇头：“对准还是要人工，依我看，下一步得加上自动对准。”
吕辰拿起旁边一颗测试芯片，放在手心里看了看。
芯片不大，比指甲盖还小一点，但拿在手里沉甸甸的，有一种实在的质感。
他用拇指轻轻摩挲了一下封装表面，光滑，平整，没有毛刺。
翻过来看背面，引脚光亮，排列整齐，间距均匀。
这章没有结束，请点击下一页继续阅读！
吕辰把芯片放回去，继续往前走。
走到生产线尽头的时候，他回过头，看了一眼整条线。
光刻、薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装，每一步都清清楚楚，每一台设备都在安静地运行。
这条线，像一个精密的钟表，每一个齿轮都在自己的位置上。
走出制造中心，吕辰又去了动力与保障中心。
那是新产线的“心脏”。
一进门，就是巨大的配电室，双回路供电的开关柜整整齐齐地排列着，绿色的指示灯一排一排地亮着，像繁星点点。
配电室隔壁是柴油发电机房，三台巨大的柴油发电机组并排而立，每台都有小卡车那么大，军绿色的外壳，擦得锃亮。
发电机组的排气管从屋顶伸出去，管壁包着厚厚的隔热棉。
再往里走，是飞轮储能系统。
一个巨大的飞轮在真空腔体内高速旋转，发出低沉的嗡嗡声，像一头沉睡的野兽在喘息。
吕辰站在飞轮前面，感受着那低沉的震动。
脚下的地面在微微颤抖，不是那种剧烈的地震，而是一种深沉的、有力的脉动，像大地的心跳。
看完电力系统，又去看超纯水系统。
超纯水车间在动力中心的另一侧，巨大的水箱和管道密密麻麻，像一个微缩的水处理厂。
自来水经过多级过滤、反渗透、离子交换、紫外线杀菌，最后变成18兆欧·毫米的超纯水，通过全循环管路输送到各个用水点。
技术员打开一个取样阀，接了一杯水，递给吕辰。
“吕工，您尝尝。”
吕辰接过来，喝了一口。
水的味道很特别，不是自来水的涩，也不是矿泉水的甜，而是一种“空”的感觉，什么都没有，干净得像不存在。
“好水。”
吕辰点点头，又去看特种气体系统。
高纯氮气、氢气、氧气的储罐并排而立，不锈钢管道电抛光内壁，接头处光亮如镜。
气体纯化器在嗡嗡地响，确保杂质低于ppb级。
每个气瓶柜上都贴着“高压、易燃、助燃”的警示标志，旁边还放着防爆柜和应急喷淋装置。
安全措施做得一丝不苟。
最后是空调净化系统。
巨大的风机在轰鸣，空气通过高效过滤器送入车间，再从地板回风口抽回来，循环往复，确保洁净度。
风机的噪音很大，但隔音罩做得很好，站在外面只听见低沉的嗡嗡声。
温湿度控制面板上，数字稳稳地停在22.0℃和45%，一动不动。
吕辰在动力中心待了将近一个小时，把每一个系统都看了一遍。
电、水、气、风，每一样都做得扎实，每一样都考虑到了冗余和安全。
看完动力中心，已经十一点半了。
十二点整，所有人回到会议室。
陈光远坐在主位，面前摊着一个本子，上面密密麻麻记着各组的验收意见。
“一个一个来。”他说，“动力中心，先汇报。”
柳教授翻开本子：“电力系统，双回路供电正常，柴油发电机组启动时间8秒，飞轮储能系统响应时间3毫秒，达到设计要求。超纯水系统，出水电阻率18.2兆欧·厘米，全循环管路无死角，水质稳定。特种气体系统，纯度达标，管道泄漏检测合格，安全设施齐全。空调净化系统，洁净度Class 96，温湿度控制±0.3°C，达到设计要求。”
他合上本子，看着陈光远。
“动力中心，验收通过。”
陈光远在本子上记了一笔，看向顾赟。
顾赟站起来：“产品中心，测试区域。扫描电镜、电子显微镜等23台设备，全部安装调试完成，操作人员培训合格，操作规程、点检记录、维护保养制度齐全。设备性能达到设计要求，测试区域验收通过。”
陈光远点点头，看向刘高工。
刘高工站起来：“制造中心，生产线。光刻机分辨率2微米，套刻精度±0.5微米，工件台步进精度0.1微米，达到设计要求。薄膜、扩散/离子注入、金属化、封装各工序设备运行正常，工艺参数稳定。试生产良率62%，接近设计目标65%。”
他顿了顿，又说：“建议连续运行72小时，验证长期稳定性。另外，操作人员的熟练度还有提升空间，建议加强培训。”
陈光远在本子上记下来，一一询问各环节的检查情况，大家也提了一些意见，不过都是些不痛不痒的小细节，陈光远也一一记录。
不一会儿就汇总完了，陈光远看着所有人：“各位的意见，我都记下来了。动力中心、产品中心、制造中心，全部通过验收。”
他顿了顿，声音提高了一些。
“但通过验收不是终点，是起点。下周一，新产线正式联调。连续运行72小时，验证长期稳定性。同时，启动良率提升计划，三个月内，良率要从62%提升到70%以上。”
他看着刘高工、顾赟、郑长枫、胡教授等人。
“各位，有没有问题？”
“没有。”
“好，散会。”
众人站起来，收拾东西往外走。
吕辰走出办公楼，站在台阶上，看着远处那五座巨大的建筑。
阳光从正上方照下来，竖窗反射着刺目的光，像一座座水晶宫殿，矗立在那里，沉默而庄严，又像是上帝丢弃的积木，自然而随意。